1. 三維集成電路高深寬比硅通孔電鍍液材料產業化我要咨詢 收藏本項目
        推薦機構:信陽技術交易市場 項目階段: 所屬領域:集成電路
        知識產權情況: 技術交易方式: 意向交易額:
        推薦機構 信陽技術交易市場 推薦人
        委托機構 技術經理人
        項目名稱 三維集成電路高深寬比硅通孔電鍍液材料產業化 項目持有人 廈門大學?于大全教授
        知識產權情況
        項目所屬領域 集成電路
        項目創新點
        原理路線
        項目階段
        市場應用與前景 硅通孔是三維集成電路的關鍵核心技術,然而其電鍍液材料由國外所壟斷,面臨嚴重的卡脖子問題。團隊自主研發電鍍液配方,實現8/12英寸晶圓高深寬比硅通孔無空洞填充,硅通孔開口3微米、深寬比大于15:1,達到世界一流水平。申請核心發明專利3項。經濟效益方面,該項目可顯著提升芯片集成度與性能,滿足5G、人工智能等新興高端芯片應用的市場需求,預計將為企業帶來可觀的經濟回報,推動相關產業鏈的發展。
        技術交易方式
        意向交易額
        備注
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